bruker探针式轮廓仪

品牌:bruker探针式轮廓仪型号:Dektak XT

  • 产品价格:面议
  • 所 在 地:福建-厦门市
  • 有效期至:长期有效
  • 发布日期:2014-07-19
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产品详情

 测量技术 探针式表面轮廓测量技术 ( 接触模式)
测量范围 二维表面轮廓的测量
可选择三维测量及数据分析
样品观测 可选择放大倍数,视场(FOV)范围: 1 to 4mm
探针传感器 低惯量传感器 (LIS 3)
探针作用力 LIS 3 传感器中1 到15mg
低作用力模式 N-Lite+ 低作用力 0.03 到 15mg
探针选项 探针曲率半径 50nm to 25μm
高径比针尖 (HAR) 10 μm x 2 μm and 200 μm x 20 μm; 也可根据需求采用用户
定制的针尖
样品 X/Y载物台 手动X/Y(4英寸):100mm*100 mm,可手动校平
马达X/Y(6英寸):150mm*150mm, 可手动校平
样品 R-? 载物台 手动, 360度连续旋转
马达, 360度连续旋转
计算机系统 64位 多核并行处理器, Windows® 7.0系统; 可选配23英寸平板显示器
软件 Vision64操作分析软件; 应力测量软件; 悬臂偏转测试软件;
选配:缝合软件; 3D 应力分析软件; 3D 测量软件
隔振系统 多种隔振方案可供选择
扫描长度范围 55mm (2英寸)
单次扫描数据采集点 最大120,000
最大样品厚度 50mm (2英寸)
最大晶片尺寸 200mm (8英寸)
台阶高度重复性 < 5Å, 测量0.1 μm 台阶高度标准偏差
垂直方向扫描范围 1mm (0.039英寸)
垂直方向分辨率 最高分辨率可达1Å (在6.55 μm 测量范围内)
输入功率 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
温度范围 可操作温度为20 到 25℃ (68 to 77℉)
湿度范围 ≤ 80%, 无凝结
系统尺寸和重量 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H)
34kg (75lbs.)
隔离罩:550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H)
21.7kg (48lbs.)
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